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    真空系統(tǒng)中壓力和真空度測(cè)量和控制的基本概念
    發(fā)布時(shí)間 : 2021-03-01
    摘要：本文詳細(xì)介紹了真空系統(tǒng)中壓力和真空度測(cè)量和控制的基本概念已經(jīng)常用的技術(shù)指標(biāo)，詳細(xì)介紹了模／數(shù)轉(zhuǎn)換精度應(yīng)壓力和真空度測(cè)量分辨率的匹配，介紹了采用不同量程電容壓力計(jì)進(jìn)行真空度控制的最小建議范圍。

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